COBRA Semicon 螺桿真空泵
極限壓力: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
抽氣速率 50 Hz: 70 - 7400 m3/h
抽氣速率 60 Hz: 85 - 7400 m3/h
COBRA Semicon 干式螺桿真空泵為工藝嚴苛的半導體、太陽能、平板顯示器生產及鍍膜行業提供可靠的解決方案。
可靠
COBRA Semicon 螺桿真空泵配有電機,因此可提供的節能效果。強勁、可靠、低維護的 COBRA Semicon 真空泵緣于其簡單的設計結合 Busch 成熟的螺桿技術(可選擇額外的直通法蘭羅茨真空泵)。
應用導向
COBRA Semicon 螺桿真空泵有多種型號,廣泛適用于各類工藝操作。緊湊型設計簡化了安裝過程,即使在較狹小的空間也能輕松安裝。此系列真空泵擁有同等級中較高的抽速,可提供較大的通氣量(甚至是氫氣)及增強的顆粒耐受力。
序號 | 型號 | 照片 |
額定抽速 |
極限壓力 hPa |
備注 | |||||
1 | COBRA DS | 70-7385 m3/h | 0.001-20 hPa | |||||||
2 | COBRA BA | 85 m3/h | 0.01 hPa | |||||||
3 | COBRA BC | 85-1580 m3/h | 0.001-0.01 mba |
上海滇魯實業有限公司
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